Gaz artırma işlemlerinde ortaya çıkan su buharı, scrubber içerisinde yoğuşturularak saf su üretiminde kullanılabilir. Aynı şekilde, hücre üretimi için hazırlanan yüksek saflıktaki banyolar, ıngot ve wafer üretim aşamalarında yeniden kullanılarak arıtmaya gönderilmeden önce değerlendirilebilir.